二手 SOLITEC 5100 #293590413 待售

SOLITEC 5100光刻设备是专为发展微电子工业中精密复杂结构而设计的高性能平台。这种光刻胶系统兼容多层，采用独特的双束光刻单元，创造出分辨率高、速度高、精度高的纳米结构。它使用248nm和193nm激光辐射将所需的图样均匀地转移到基板上，从而能够更快、更精确地制造小型结构。该机器管理着高达每秒8个晶圆的高吞吐率，其桌面上有一个用于精确定位和基板传输的自动晶圆处理工具。该资产还支持双面和横向操作,为更复杂的应用程序提供功能。5100支持最新的抗蚀剂，用于对光电镀和等离子体蚀刻等高度精确的微结构进行阵列化。它具有全面的用户界面,能够快速设置、调试和可视化过程的各个层。整个光刻过程由一个程序处理，消除了在进程之间转换时出现错误的可能性。该模型包括高分辨率成像和超压扫描等功能,可对小型结构进行精确的阵列处理。这是通过漫射光源来实现的，这确保了图桉化的特征是清晰、准确和可重现的。抗热存储功能还优化了整个基板上的图样均匀性。该设备的快速对齐器可自动校准焦点和倾斜,提高系统性能和对齐精度,从而确保打印过程的精度。SOLITEC 5100还具有过程控制功能,能够实时监测和跟踪光刻过程。5100光抗蚀剂单元是阵列微结构的理想选择，并且由于其高性能和精确度，被广泛的行业使用。其先进的技术、易于使用的界面和可靠的操作使其成为希望以高速和精确的速度制造高精度微结构的公司的理想选择。