二手 SOLITEC 5100 #9207415 待售

SOLITEC 5100是一种专用于光刻胶处理的精密抵抗涂层设备。其设计在薄膜光刻涂层和曝光中提供卓越的均匀性和可重复性，是生产先进半导体器件的理想之选。坚固的系统采用集成的滤轮,可实现精确的薄膜涂层。滤轮可实现精确控制的液体输送和分散，从而实现卓越的膜均匀性。此外,滤轮有助于最大限度地减少分散过程中溶剂的渗漏,从而保护底物.该单元还提供自动化,以增强流程的可重复性和可靠性。闭环机自动调整蠕动泵速、滤轮分配角度和特征间隙间距。这有助于确保每个涂层质量一致。5100与多种常见的光刻材料兼容，包括显影剂和剥离剂溶液等材料，以及自旋和喷涂光敏涂层。该工具支持多个涂层压力水平,以适应不同的粘度水平或材料要求。SOLITEC 5100配备了自动扫描曝光技术，可实现高质量曝光轮廓和清晰图像。该资产提供高对比度、高分辨率的胶片图像再现，即使在微米级精度。此外，功率优化确保了薄膜光刻涂层和曝光的精确均匀性。该模型采用集成的温度控制设备，以确保整个加工周期的精确温度调节。此外，还提供了一个环境围栏，以提高安全性，系统可以配备冷却套，以保护基板免受热辐射。综上所述，5100是为精密薄膜光刻胶加工而设计的先进抗蚀剂涂层单元。其坚固的设计可实现精确的液体输送、均匀的涂层、受控的温度和一致的暴露。这使得这台机器非常适合生产先进的半导体器件。