二手 SOLITEC 5110 PD #9101861 待售

SOLITEC 5110 PD是为精密晶圆处理而设计的精密光刻设备。它具有独特的三维曝光系统，可以精确曝光小而复杂的光刻胶图桉。该单元有一个用户友好的图形用户界面，这使得它易于使用和设置了各种各样的进程。该机采用双层光学对准工具，确保曝光精确对准晶圆图桉。高精度的缩放资产可以准确显示最小的细节。它还具有机动化聚焦模型，能够自动聚焦晶圆表面，以保证高精度曝光。5110 PD的设计非常精确可靠。它具有广泛的温度设置范围，范围从-15°C到+50°C，允许处理最敏感的晶片而不会影响性能。此外,高级硬件和软件功能与高级诊断相结合,可确保设备的可靠性和准确性。此外,SOLITEC 5110 PD还提供了独特的灵活性级别。它具有一个可选的多目标曝光站,具有动态多阶段曝光功能。这允许用户在一个过程步骤中公开具有多个曝光系统的晶片的不同部分。该单元内置的高分辨率成像系统旨在捕捉高分辨率图像中光刻屏蔽的最佳细节。此外,它还具有高级晶圆轮廓测量功能,可以准确估计晶圆尺寸、形状和边缘几何。总之,5110 PD是一种高可靠性、高精度的光刻机.它结合了先进的硬件和软件功能，结合独特的三维曝光工具，使其成为精密晶圆处理的理想选择。多重曝光站和动态多阶段曝光能力增加了资产的多功能性和灵活性，高分辨率成像模型允许对光刻胶掩模进行详细成像。