二手 SOLITEC 5110 #9363072 待售
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SOLITEC 5110光刻设备是一种设计用于将光刻材料暴露在基材上的生产设备。它采用经典的光刻工艺,能够产生高分辨率、高质量的电路模式,结果一致。5110是一个功能齐全的系统,由6轴光刻级组件、主控制单元和注释单元组成。光刻阶段组件由一个阶段基座、两个中间阶段和一个微阶段组成。所有的阶段都可以单独操作,机器的总行程范围为25 x 25微米。舞台与主控制单元耦合,主控制单元配有触摸屏界面。这可以让使用者精确控制舞台的定位和运动,以及光刻胶过程的曝光参数。SOLITEC 5110附有多种可供处理的光敏材料,包括正负色调材料以及双层材料。它还允许各种曝光时间,从0.2秒到1600秒不等,以及手动和自动制图。此外,它还具有预编程的曲线偏置控制工具,可确保光刻胶均匀地预曝光。注释资产允许用户在曝光过程中准确、快速地注释模式。此注释模型非常可靠,其数据存储在内部内存中。设备还提供各种对准功能,包括原位晶片对准和校正平面对准,以及旋转和曝光前登记。5110系统易于使用,但精度和准确性都很高。对于那些需要高分辨率、短周转光刻胶工艺的人来说,这是一个完美的解决方桉。该单元完全自动化和可靠,在整个过程中提供一致的高分辨率和高质量模式。
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