二手 SOLITEC 5110C #9043475 待售

SOLITEC 5110C光刻设备是一个完全集成的光刻系统，用于将耐化学聚合物层精密沉积和蚀刻到基材上。用于高分辨率模式转移和主动层开发。该单元以集成精密口罩的大型平板数字成像机、基于真空的舞台工具和独特的浸涂工艺为基础。SOLITEC 5110-C资产能够同时进行多层图样传输和蚀刻。它有两种定义的配置-5120S和5140C。5120S型号为少数几层设计，腔室尺寸可达10 "x 10"，而5140C设备增加了尺寸，腔室尺寸可达60 "x 30"。5110C系统设计有一个紧密集成的单元控制器，负责控制整个机器。此控制器将数字成像工具与舞台资产连接起来。此外,它还包含多个算法控制器,通过控制沉积过程和其他关键参数（如蚀刻速率、层厚、基板温度、气体流速等）来确保平稳运行,5110-C模型还包括一种专有的激光直接成像（LDI）技术,使其能够产生高分辨率的掩模模式。这是通过LDI和光致抗蚀剂过程的结合来实现的。LDI采用高精度遮罩的紫外线照射模式，然后通过基于真空的设备转移到基板上。SOLITEC 5110C提供低至50 nm的图样传输和结构,在每一层提供精确且可重复的光阻图样。该系统还提供了高度的边缘清晰度和高图桉密度，使其成为生产光刻的高度可靠和经济高效的解决方桉。SOLITEC 5110-C除了产生光刻胶层外，还可用于大范围的二次处理，包括晶片键合、抛光、封装，以及测量成品性能。总体而言，5110C光刻装置是一种功能强大且高度可靠的高分辨率光刻解决方桉，可用于多种基材和厚度，使其成为各种应用的绝佳选择。