二手 SOLITEC S822 ACB #9354008 待售
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ID: 9354008
优质的: 2001
Dual track coater system
Manual and spare parts included
2001 vintage.
SOLITEC S822 ACB是一种先进的化学机械（CMP）光致抗蚀剂设备，用于各种蚀刻、沉积和平面化过程。它是为高精度的介电抛光而设计的，需要较低的污染水平，以保持完美的平面。该系统采用气垫带（ACB）进行轻柔、低损伤的抛光，而其先进的光刻技术确保了一致的效果。S822 ACB由耐用且耐腐蚀的不锈钢框架、2hp变速电机和重型运输台组成。该电机设计为提供平滑、可靠、均匀的运动,非常适合精密工艺。运输台设计用于抛光时牢固地固定晶片，并配有再循环浆液管理单元，最大限度地减少结转，最大限度地减少加工过程中所需的产品数量。SOLITEC S822 ACB还配备了先进的控制机器,可精确控制压力、机械/化学组合动作和抛光方向等基本参数。这确保了小型和复杂形状零件的出色平面化。其先进的抛光头设计适合各种晶圆尺寸,并具有主动冷却工具,可最大程度地减少热降解并保持加工材料的质量。S822 ACB设计用于各种光致抗蚀剂,包括有机和无机类型。这些材料提供了极好的蚀刻选择性，使得更高的产量和更高质量的产品。其先进的浆液管理资产确保了抛光工艺的每一步只使用最优量，提供高效、经济高效的操作。SOLITEC S822 ACB是高精度介电抛光的绝佳选择。它强大的设计和先进的功能使其成为各种应用程序的可靠且经济高效的选择。其先进的光刻技术结合其精密的控制模型和抛光头提供了出色的平面性、优越的产量和可靠、经济高效的操作。
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