二手 SOUTH BAY TECHNOLOGY / SBT IBSe DD #293706496 待售

SOUTH BAY TECHNOLOGY / SBT IBSe DD
ID: 293706496
Planarization coater system.
SOUTH BAY TECHNOLOGY/SBT IBSe DD光致抗蚀剂设备是在半导体器件上生产精细分辨率、光刻图样金属化层和蚀刻特征的最先进的系统。设备的全名是Imaged By SRM Scanning Exposure (IBSe或IBSE) Direct Deposition (DD)。SBT IBSe DD光刻机利用独特的三点激光曝光技术,能够将对准标记、透明胶片、蒙版和图像精确定位到基材上。三点激光曝光技术是光刻工艺的组成部分,基于约翰内斯·古腾堡的凸版工艺。三点曝光策略可以将图像与蒙版对齐并放置在基板上,从而创建所需的图桉。SOUTH BAY TECHNOLOGY IBSe DD光致抗蚀剂工具被设计为与诸如Shipley S1818和AZ1518等高灵敏度光致抗蚀剂材料以及其他焊膜和底漆一起使用。该资产具有自动和手动基板功能、自动更换刀片、可调基板方向和精确激光分级。为了进一步提高曝光过程的精确度,该模型具有自动调整功能,可用于边缘到边缘的阵列扫描功能,精度± 1 μ m。为确保耐用性,IBSe DD光刻胶设备采用耐用的铝合金和钢合金制成,耐腐蚀和高温波动。所有系统部件都是为高抗振性而设计的,不需要定期的预防性维护。此外,该机组还具有内置加热级和温度控制功能,以提高稳定性。SOUTH BAY TECHNOLOGY/SBT IBSe DD光刻机因其高分辨率成像能力而被广泛应用于半导体加工中,使複杂的光刻图样的製造具有非凡的精确度。该工具能够使用各种类型的光刻胶材料进行操作,这也使得它成为许多应用的一个有吸引力的选择。
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