二手 SPAMI Ace II #293660330 待售

SPAMI Ace II是由SPAMI Co.开发，用于工业半导体应用的完整光刻设备。该系统结合了多扫描激光曝光模块、冲洗站和自动清洁单元，提供高通量和出色的步进覆盖。Ace II机器的工作原理是使用激光曝光模块将专利转移到各种半导体晶圆尺寸上。激光曝光模块由二极管激光阵列、同步扫描和精确定位控制组成。激光曝光模块使工具能够打印高度复杂和详细的图桉,并具有极其精确的特征大小和线条宽度。冲洗站用于去除暴露后的光敏残留。它包含一组可拆卸的PCB板,可插拔和播放集成到SPAMI Ace II资产中,并具有低压冲洗冲洗压力（RRR-P）流动检测器,可防止光致抗蚀剂残留物堆积和干扰成像过程。自动清洗模型用于优化工序模具清洗操作。它包括一个用于精确基板定位的移动平台，并有一个内置的清洁机器人，具有两轴伺服驱动器，以提高清洁精度。自动清洁设备减少了工艺模具的停机时间,有助于提高吞吐量,同时还优化了拥有成本和光刻胶清洁度。Ace II光阻系统还支持模式镜像、多层处理双照明晶片设计、敏感厚度和焦点测量的晶片传感器头阵列等先进功能。它的模块化设计简化了安装、维护和升级,同时以较低的拥有成本提供了卓越的性能和灵活性。