二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-1000 #9224861 待售

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-1000是一种高性能的光电抗蚀剂设备,旨在以最小的失真提供卓越的工艺控制和小光电抗蚀剂图样的均匀传递。该系统由几个组件组成，包括一个计算机控制的计量单元和一个设计者控制的喷雾机，两者都使用精确的雾化喷头将光敏材料应用到所需的基材上。计量工具通过几个功能提供了更高的效率、最小的复杂性和较低的浪费。它的连续运动将光致抗蚀剂沉积在基板上受控的均匀层中。这样可以确保表面不会出现"凹坑"或分层,从而最大程度地减少缺陷。此外，它在料斗中的大容量为4.5公斤的材料减少了频繁重新填充的需要。测光资产还具有高度调节功能，允许从5微米到40微米的不同厚度的光刻涂层。喷涂模型设计为均匀分散光刻胶，即使在制作小图桉时也是如此。计算机控制的设备可以进行调整，以各种角度、攻击角和覆盖率喷洒，以满足所需的应用。喷雾的压力也可以调整，建立精确的材料数量，以加强对涂层工艺的控制。光致抗蚀剂材料经过特殊设计，可提供对基板的最大附着力，从而实现快速、精确的图样传递。该材料为交联丙烯酸树脂体系，即使经受高温烘烤，也能轻且热稳定。另外，它是亲水性的，设计不会干扰底物的电性能。计量单元、喷雾机、光刻胶材料的组合，为小型光刻胶图桉提供了优越的涂层均匀性和工艺控制。利用调整材料厚度的灵活性,SCS BH-1000提供了一种可靠且可重复的光刻工具,使快速、准确的传输成为可能。