二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-1000 #9249343 待售
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ID: 9249343
优质的: 2015
Parylene deposition system
With cryogenic system
Pumping system:
Oil pump: 2-Stage rotary pump equipped with Lu-style booster pump
Speed: ≥ 7000 L/min
Ultimate pressure: ≤ mTorr
Heating module:
Evaporation chamber: Tube, 8"
High temperature furnace length: 800 mm
Cracking pipe, 3"
Maximum amount of powder: 3000 g
Cavity module:
Stainless steel (SUS 304): 1485 kg
Door switch detector: (2) View ports (Each)
Internal dimensions:
Diameter ≥ 900 mm
Height ≥ 1000 mm
Rotating platform:
Architecture: Motor and reducer
Speed: 0.5 to 10 Rpm
Freezing capture system:
Large capacity condensing chamber: Capture up to 10,000 g
Vent system:
Atmospheric detectors
Overload relief valves
2015 vintage.
特种涂层系统/SCS BH-1000是一种专用的光刻设备.该系统利用称为光刻剂的化学物质将光刻剂永久结合到基材上。SCS BH-1000是一种湿式光刻装置，涉及各种基材的应用、开发和蚀刻。SPECIALTY COATING SYSTEMS BH-1000具有先进的Optilight 1000负光抗蚀剂,专门为消费电子行业的设备生产而设计。这种抗蚀剂采用了温度稳定和紫外线稳定的技术，能够分辨出小规模特征。Optilight 1000的设计使其能够开发极小的特性,并具有卓越的分辨率,以及长期的散热和紫外线稳定性。除了小特性分辨率的显示，Optilight 1000还实现了额外的高对比度蚀刻速率，可用于以可靠的方式绘制非常精确的线条和设备。BH-1000还配备了先进的多功能/非洗涤剂化学通用开发人员（MF/NDC-Co 1）。该开发人员使用户能够持续开发Optilight 1000的功能,同时保护基板免受潜在的化学污染。一旦开发出光电涂层，SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-1000具有干蚀刻-双相二氧酸酯（DEB-B）蚀刻气体。这种氯基气体被设计用来蚀刻各种各样的底物，并经过优化，以产生比其他蚀刻气体更光滑的蚀刻表面。它还具有整个蚀刻过程中的热和化学稳定性，从而形成了一个优越的蚀刻图桉。SCS BH-1000光刻机是广泛应用的绝佳选择，从消费电子和生物医学设备到光刻和显示器开发。其独特的Optilight 1000抗蚀剂和专用的多功能/非洗涤剂化学通用一号（MF/NDC-Co 1）显影剂和干蚀刻双氧合金（DEB-B）蚀刻气体为用户提供了一种一致可靠的方法，以实现非常小的特征分辨率，具有优异的热和紫外线-稳定性，以及整个蚀刻过程的一致性。
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