二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-360 #9212683 待售

ID: 9212683
优质的: 2013
Parylene deposition system 2013 vintage.
SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-360是为半导体和其他微电子制造工艺而设计的先进光刻设备。该系统由三个主要组成部分组成;一种光敏液体预涂层,一个光敏化学显影站,和一个后涂层。预涂层用于均匀地在基板表面涂抹均匀的一层光致抗蚀剂液体。该层充当半透性屏蔽,允许光线穿透基板表面,同时也提供对基板的强烈附着。化学发展站用于对光刻胶液体进行几种化学处理,改变分子结构以增强其粘合性能,增加其耐热性、光性和耐化学性。接着,后涂层步骤被用来製造一个根据所需的形状和颗粒量身定制的保形涂层。整个过程由计算机工作站上的专用图形用户界面(GUI)驱动,并配有多个配方,可根据需要进行调整,以最佳地将所需的处理条件与基板匹配。该单元还内置了几个安全功能,以防止多余的光线损坏基板,提高最终结果的可靠性。光刻胶层是可生物降解的,使得工作后容易清理,消除有毒化学物质的潜在危险。总之,SCS BH-360光刻机是微电子和半导体制造项目中一种可靠可靠的解决方桉。其完全可编程的图形用户界面、可定制的配方、可生物降解层以及多种安全功能提供了无与伦比的精度和保护,以确保最终产品获得成功。
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