二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-360 #9226957 待售
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SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS BH-360是一种符合VOC要求的低温化学放大光刻设备,设计用于制造高精度微电子元件以及其他复杂而细腻的结构。这种光致抗蚀剂系统利用丙烯酸乙酯基化学,使其可以在低温下固化以粘附在底物上。这种特性对于某些应用来说特别可取,例如那些处理不能承受高温的敏感材料的应用。ScotchCalTM SCS BH-360由多层涂层材料组成,并在受控温度和厚度下仔细应用。它是一个多层的,由高分辨率有机和无机部件组成的单元,包括一个表层涂层,一个粘合剂,一个底层涂层,以及一个可选的基材界面带。机器的组件被设计成产生高分辨率的图像,负责保持优秀的几何形状和图像清晰度。涂层是一种光敏有机聚合物,是一种丙烯酸乙酯基聚合物。其厚度通常约为3微米。该涂层具有光学分辨率高、减法附着力好、覆盖率好、高清晰度成像和耐久性等特点。当暴露在光线下时,它会发生化学改变,并形成与投射在其上的图像相对应的图样。粘合剂层是一种紫外线固化丙烯化氨基甲酸酯粘合剂。以0.5-3微米的厚度施用。粘合剂在表层涂层和基板之间起到牢固的粘结作用,确保涂层保持原位并抵抗磨损。底漆由几层组成。其厚度可在16-32微米之间。Basecoat是有机和无机树脂的组合,旨在提供高性能、化学和物理性能。它是一种直接成像、空气释放和更薄的涂层大衣的载体,牢固地固定了光刻者传递的图样。基材界面带是一种丙烯酸基胶带,设计用于提高基材的表面质量之前,特种涂层系统的应用BH-360。它降低了污染的风险,改善了对基材的粘附。它还提供额外的空气释放,可以提高成像分辨率。多层组合,提供了一个全面的光刻工具,可以用来生产精确的微电子元件和其他复杂的结构。低温固化方法可以保护细腻的材料和基板,同时保持出色的分辨率和精细的图像质量。
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