二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS BH-360 #9248733 待售
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ID: 9248733
优质的: 2015
Parylene deposition system
With cryogenic
Freezing temperature range: ≥-85°C
Sensor: T-type
Ambient temperature range: 20~30°C
Refrigerant:
R507
R-23 R-290
Chamber:
Diameter: 360 mm
Gas molecular duct
Door diameter: ≥530 mm
Door thickness: ≥20 mm
Observation window
Rotating platform:
Carriers
Rotating speed motor
Architecture: Motor and reducer
Load capacity: 20 kg
Spinning speed: 0.5 - 10 RPM
Compressor: 50/60 Hz, Single phase, 1 HP
Power supply: AC 220 V, 50/60 Hz
2015 vintage.
SPECIALTY涂层系统/SCS BH-360是一种用于为微电子工业设计电气元件的高分辨率"光敏"设备。光致抗蚀剂是一种特殊的聚合物,在暴露于紫外线下会发生化学反应。SCS BH-360系统由专用自旋涂层单元、集成计算机、UV光源和液晶显示器(LCD)组成。光致抗蚀剂使用旋转涂料机应用于电子元件,该机在表面涂上均匀的抗蚀剂涂层。光致抗蚀剂施用后,暴露于紫外线光源,导致光致抗蚀剂发生化学反应。这种反应导致光刻胶的电性能发生变化,从而使电气元件能够使用这一过程进行阵列化。特种涂层系统BH-360过程的下一步是开发过程,它可以去除光刻胶的暴露或未暴露区域。光致抗蚀剂的发展可以用各种溶剂如丙酮、甲基乙基酮或N-甲基吡咯烷酮来完成。经过开发后,对光刻胶进行硬化处理,以保护材料不受温度、水分和其他环境因素的影响。抗蚀剂硬化后,就可以对组件进行阵列化了。这可以通过多种方式完成,具体取决于组件。构件图样的最常见方法之一是使用蚀刻工艺,利用电解质和电流蚀刻光刻胶的裸露部分。一旦组件图样化,可以添加额外的光刻胶层,直到达到所需的图样。SCS BH-360system是微电子工业的理想光刻工具,因为它非常精确,能够产生非常精确的图样。紫外线的使用为制造电气元件提供了一个安全和环保的过程,自动旋转涂层资产确保了光刻胶的均匀性。该型号还提供了高度的灵活性,因为相同的光刻胶设备可以用于各种不同的元件和图桉。
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