二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS P Coater #9093851 待售
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SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS P Coater是为了将光敏涂层沉积在玻璃和其他光学透明的基板上而开发的光敏设备。该系统由一个光源、一个控制器、一个采样级和一个可互换滤波器轮组成。该装置能够产生厚度在1至50 nm之间的高分辨率单光子曝光模式。使用光束整形透镜会降低所需的光束能量，而滤波器轮则创建光谱控制来选择适当的光谱。SCS P Coater利用先进的6轴机器人级,允许大量样品移动,同时将样品保持在所需的焦平面中。光源提供了一个具有随机访问模式的高强度、相干的光源，以产生变化的光照。控制器允许用户设置曝光模式、选择曝光时间、扫描区域以及在所需样本区域上重复曝光。专用涂层系统P涂层设计用于在任何兼容的基板表面上涂覆光致抗蚀剂。涂层材料被入射光照射，引发化学过程，导致光敏材料在暴露区域变硬。此外，机器具有改变曝光水平的能力，允许创建高度优化的表面图桉。P Coater还通过一些有用的配件为用户提供了灵活性。其中包括样品加热源、样品持有者的选择，以及用于选择适当波长进行溅射的一系列滤波器。该工具还包括一个自动晶圆清洗站，用于清除样品涂层过程之间表面的分散颗粒。总体而言，SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS P Coater是一种高效、高精度的光敏涂层沉积资产。其先进的技术简化了涂层工艺设置，在涂层参数如曝光水平和光谱方面提供了灵活性。该模型适用于光刻行业的广泛应用，能够将功能层精确地沉积到不同类型和大小的基板上。
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