二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS PDS 2060PC #9028348 待售
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ID: 9028348
Parylene deposition system
Includes:
2060V/PC base system
PDS 2060 mechanical chiller
PDS 2060 exhaust filtration
PDS 2060 9" chamber extension #1.
SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS PDS 2060PC是为先进的微电子器件和互连处理而设计的通用光刻系统。它由由树脂、引发剂和溶剂组成的三组分溶液组成。光致抗蚀剂的主要功能是充当半导体材料的光刻和蚀刻的掩模,如硅、氙或砷。树脂是一种交联的水溶性化合物,起到初级蚀刻抗蚀剂的作用。它能够承受微电子制造中使用的湿法和干法蚀刻工艺。引发剂是一种有机化合物,有助于树脂的交联,进一步提高其蚀刻电阻率。溶剂用于稀释树脂和引发剂的溷合物,以便更好地涂在材料上。SCS PDS 2060PC光刻胶系统可用于多种用途,包括但不限于对UV/可见微结构进行成像,创建电触点,进行背景掩蔽,以及对厚膜进行图桉化。它能够在一个步骤中应用和成像,因此可以实现快速可靠的设备制造过程。光致抗蚀剂易于开发和剥离,不需要氢氟碳化合物等有害物质,使其成为环保的选择。光致抗蚀剂具有极好的热稳定性,可以用各种光谱源进行曝光,从而可以很好地控制曝光。在接触化学清洁剂时也特别耐开裂或剥落。这将优化过程的可重复性,使其成为创建可重现设备体系结构的理想选择。专用涂层系统PDS 2060PC光刻系统用途广泛,效率高,是先进微电子器件加工的绝佳选择。它使用简单可靠,是创建可靠和可重复结构的理想选择。它能够抵抗一系列干湿蚀刻溶液,使得它在处理多层时是一个绝佳的选择。其环保设计保证了设备制造过程的高效、安全使用。
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