二手 SPECIALTY COATING SYSTEMS / SCS Precision Coater #9135649 待售

SPECIALTY COATING SYSTEMS/SCS Precision Coater是一种精密的光刻涂层设备,专为具有光刻材料的基板的最佳和精密涂层而设计,非常适合微电子或光刻应用。该系统由于具有纳米级均匀性和精确度的精密性能，经过高质量的抛光。它包括高精度泵和精密喷嘴的光刻胶分配模块、自动控制涂层分配和均匀性的光刻胶应用模块以及通过集成相机技术精确扫描涂层表面的扫描仪模块。Photoresist Dispense Module配有直观的图形用户界面,允许用户设置所需的光刻胶体积、浓度和速度。该模块还包含一个高性能的泵、阀和喷嘴，可提供高精度和可靠的结果。此外，ASEP-X玻璃毛细管配电泵提供了高度精确的配电参数，以实现纳米级的均匀性和准确性。光刻胶应用模块配有光刻胶应用臂和分配头倾斜机构，可最大限度地减少边缘效应，提供均匀的涂层分布。通过使用光学和电气诊断技术来优化应用参数，涂层基板与光阻应用模块的均匀性非常精确。扫描仪模块可以高精度检测表面缺陷和非均匀性。这通过内置的110°棱镜实现，该棱镜与相机模块集成在一起。此外，扫描仪模块还配备了一步不接触片电阻测量，以便能够即时监测和评估给定光刻胶层的成败。总体而言，SCS Precision Coater是任何微电子或光子应用的一种特殊的光阻单元。由于其高精度的功能和允许优化性能的不同模块,它提供了准确可靠的结果。这种光刻机经过验证，对于各种基板和表面的小规模和大规模的光刻层沉积是真正有效的，使其成为任何精密涂层需求的理想选择。