二手 SRD CT-302 #9301059 待售

SRD CT-302
製造商
SRD
模型
CT-302
ID: 9301059
Wafer spin dryer.
SRD CT-302是一种光致抗蚀剂设备,用于将抗蚀剂的薄层(低至5um)图样化和沉积到基板上。它是一个利用DUV辐射源的集成光刻系统,具有高达193 nm的波长,用于曝光薄至5 um的光刻胶。此单元具有步进电机、可调电源和电动控制器,可精确曝光基板。该机还包含一个ASML涂层/显影剂单元,能够润湿和开发正片和负片。这允许创建高度精确和复杂的模式。步进电机可以精确控制焦点和曝光区域,并提供实时原型设计功能。刀具中的可调光源能够对抗蚀剂特性进行详细分析,从而能够对阵列制作过程进行微调。该资产配备了高度敏感的光学传感器,用于检测基板位置和曝光时间的变化。它还配备了精密的电动控制器,用于步进电机和可调电源的精确运动。CT-302设计为用户友好,具有直观、用户友好的图形用户界面(GUI)。这样可以精确控制各种设置和过程参数。此外,其可靠和耐用的组件保证了一致和可重复的结果。这款光刻胶也是为了安全和易于维护而设计的。它有几个内置的安全功能,如紧急停止按钮和摄像头来监控设备。它的零件也易于维修,在必要时可以快速维修。SRD CT-302汇集了高级光刻工艺所需的所有精度、准确性和性能。它非常适合无缺陷薄膜层的生产,是任何设备齐全的实验室的一大财富。
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