二手 SSI 150 #9228957 待售

SSI 150
製造商
SSI
模型
150
ID: 9228957
晶圆大小: 6"
Coater track system, 6" With input cassette Oven Chill plate.
SSI 150光敏设备是一种半自动系统,旨在提供可靠准确的光敏材料处理。光敏材料是用于制造微电子元件和器件的一种基材。150所做的工作是,首先允许光刻胶材料通过化学调节室,然后在单独的通过过程阶段处理基板的顶部和底部。第一个加工阶段涉及紫外线光源的应用,该光源激活光刻胶材料并为进一步加工做好准备。一旦材料暴露在紫外线下,就会在基板和光源之间放置一条光刻胶条,又称光掩模。这种光掩模的作用就像一个模具,阻挡材料的某些部分,同时暴露其他部分,这取决于它的特性。基材暴露于光掩模后,再放入烤箱进一步处理。基板经受烤箱后,通过冷却隧道,之后陷入发育室内。这个腔室包含一个专门设计用来溶解暴露的基板某些部分的溶液。以这种方式,残留在基板上的光刻胶层被精炼并整合成所需的形状。最后,基材通过冲洗室,在该室中清除了先前加工过程中残留的任何残留物。经过这一过程,光刻胶基板准备用于微电子元件和器件的创建。SSI 150光刻装置为微电子元件和器件的生产提供了准确可靠的工艺。这台机器可确保光刻胶材料达到所需的形状和尺寸,且浪费最少,与人工生产和加工方法相比,它具有很高的成本效益。此外,该工具还确保所有光刻胶基板都符合工业规格,从而形成一个一致和可靠的产品。
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