二手 STEAG Cluster 421 #9136000 待售

製造商
STEAG
模型
Cluster 421
ID: 9136000
优质的: 1995
Microtech coater / developer Coater-module with wafertec-pump, EBR I/O-Station with separate input and output (1) Cool plate mounted on Stack (2) Hotplates Robot for wafer transfer Chiller to support cool plate (1) Box of spare parts 1995 vintage.
STEAG Cluster 421是一款光刻设备,设计用于大体积、高精度生产平面和圆柱形透镜,以及光电元件。它利用曝光资源来模拟各种类型的光学仪器特性,并利用光刻工艺在基板上创建不同的结构。群集421提供卓越的精度,其光斑尺寸为50 mm (1.97 in)。光致抗蚀剂系统设计用于容纳多种基板,包括无定形和结晶材料,以及所有类型的石英、玻璃和塑料表面。STEAG Cluster 421还支持各种不同表面形状的基板,非常适合复杂的光学制造。光致抗蚀剂单元包括一个打印头,可用于将光致抗蚀剂材料涂抹到基板上,以及显影机,可用于开发光致抗蚀剂材料。开发工具配置为以高开发速度提供高分辨率的结果,使其适合大批量生产。聚类421还包括控制曝光和开发过程的工具,使用户可以根据自己的具体需要定制光刻胶资产。例如,用户可以选择正确的曝光资源以确保获得最佳结果。光刻胶模型还具有控制显影剂溶液温度的能力,允许在开发过程中提高精度。综上所述,STEAG Cluster 421是专门为大批量生产光学元件而设计的光阻设备。它提供了极好的精度和速度,和光刻材料可以量身定制,以适应各种基材。此外,用户有能力控制接触和开发过程,确保取得最佳结果。
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