二手 STEAG Marangoni #138851 待售

STEAG Marangoni是一种现代光阻设备，用于半导体、MEMS等微电子制造工艺。它由一种特殊的致敏乳液组成，应用于基板，通常是硅片，以使其对激光曝光更敏感。乳液由有机碱的水溶液和含有光活性化合物的化合物组成。当底物受到激光照射时，这些化合物迅速解离，形成进入光化学反应的自由基，在底物上形成氧化铝膜。Marangoni光刻系统的设计提供卓越的光刻效果，具有卓越的精度和一致性。该单元生产的氧化铝膜厚度和表面高度均匀，与基板地形紧密相符。这种精确度是由于在基板上添加了高质量的抗反射涂层，以及光刻胶乳液的高精度沉积。STEAG Marangoni光刻机除了提供卓越的光刻效果外，还具有出色的附着力和热稳定性。氧化铝膜与底物的粘附性能极佳，使光刻胶膜保持牢固附着。光刻胶的热稳定性使其能够承受高达300℃的温度，而不会产生明显的附着力损失。Marangoni光致抗蚀剂工具可以广泛应用，包括生产半导体器件、MEMS器件和其他微电子元件。它特别适合制造具有高长宽比特征的半导体元件，如沟槽、凹槽和空腔。其优异的光刻性能和较高的热稳定性使其成为微电子制造应用的理想选择，要求精度和可靠性。