二手 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #293595304 待售

STEAG/MATTS/AST Marangoni光刻设备是一种高度先进的光刻方法，用于制造电子元件和器件。它利用几种工艺的组合--包括曝光和反应性扩散--来暴露和开发一种被光刻胶覆盖的基板，然后将其用于绘制所需的结构或特征的图样。AST Marangoni光刻胶系统由两个独立的反应堆组成，简称WaferProcessor和SoftBake Oven。WaferProcessor是一台计算机控制的机器，将光刻胶分子对准基板表面，创建所需的曝光模式，并发展光刻胶层。曝光和显影过程是通过将基板暴露在指定的光照和反应性扩散模式下来完成的。然后使用SoftBake烤箱完成阵列制作过程。在此过程中，基板在烤箱中加热到指定温度，设置为预定义的曝光时间，然后在基板的不同部分之间产生受控的热梯度。这种热梯度允许选择性形成所需的图样，而无需对光刻胶层进行任何修改。STEAG Marangoni光刻机的最后一步是后烘烤，利用高温烤箱活化光刻材料。该激活过程确保光刻胶图桉在蚀刻和其他制造过程中保持完整，并准确复制所需图桉。总之，Marangoni光刻机是一种先进、可靠的光刻方法，用于制造电子元件和器件。这种方法结合了暴露、反应性扩散和烘烤后过程，以获得准确的模式和特征。设置的尺寸相对较小,成本较低,因此此工具适用于各种大批量生产过程。