二手 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9184982 待售

STEAG/MATTSON/AST Marangoni光刻设备是一种化学过程的组合，用于通过光刻在基板上产生高分辨率图像。光刻是一种利用光蚀刻或以其他方式将掩模的形状转移到底层基板上的方法。AST Marangoni系统使用光敏抗蚀剂执行此操作。抗蚀剂通常作为悬浮在液体介质中的聚合分子的水溶液供应。当暴露在光线下，分子会变成交联，形成沉积在底物上的聚合物膜。这种薄膜对化学和物理性质都有很强的抵抗力，能够定义一种模式。STEAG Marangoni单元利用三个独立的阶段，每个阶段在创建底层模式时都能最大限度地提高图像分辨率。第一阶段，将氢氟酸等蚀刻溶液涂在基材上。该解决方桉用于修改基板表面并形成微观凹坑。第一阶段为后续光刻步骤的坚持提供了必要的粗糙度。在第二阶段，光致抗蚀剂被涂在基板上并允许流动。这个阶段对于在基板上创建一个均匀的层很重要。MATTSON Marangoni机利用表面张力和扩散的结合，确保光刻胶完全附着在基板上。在最后阶段,使用配置的掩模将光刻胶暴露在光线下。这就是光致抗蚀剂暴露在外并与光反应引发分子交联的地方。Marangoni工具结合了高分辨率光学器件和计算机控制的对准装置，以确保掩模正确对准。一旦交联完成，交联分子在表面形成均匀的层。这会保留遮罩上的图桉,并在底层基板上提供统一的影像。在这一过程之后，通过使用湿蚀刻去除不需要的区域中的光刻胶进一步发展图样。STEAG/MATTSON/AST Marangoni光刻资产是一种高度专业化和有效的光刻技术,可在各种基板上产生可靠和准确的图像。它利用三个不同的阶段来保证表面有一个均匀的光敏层。此外,它还利用高分辨率光学器件来确保掩模正确对齐。该模型被证明是一种可靠有效的光刻技术，在电子工业中得到广泛应用。