二手 STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9267094 待售

STEAG/MATTSON/AST Marangoni是一种光刻设备,其开发目的是在各种表面上实现精密蚀刻和图桉。它采用紫外线照射和曝光后热处理的精密组合，准确溶解基板的目标区域。光敏材料以液体的形式应用于目标区域。暴露在紫外线下，液体的暴露部分变成固体。经过辐照后，使用定制的AST Marangoni应用系统热装置（MASTU）加热样品。这个过程使反应的光致抗蚀剂以受控方式溶解。为确保未辐照材料不受影响，必须使用先进的热控制装置精确调节热量。这一过程使得高而薄的结构能够进行微加工，这正是在预期的地方，而且具有很高的垂直保真度。它还允许形成细角和微通道，以及对抗蚀剂厚度的精确控制。STEAG Marangoni特别适合薄膜装置结构，如MEMS（MicroElectroMechanical Systems）和NEMS（NanoElectroMechanical Systems）。它在医疗设备、能量收集和传感器等其他领域也非常成功。Marangoni既适用于大面积也适用于小面积的光刻胶图桉。它不仅是一种极具成本效益的方法，可以精确绘制各种材料的图样，而且也是一种无害环境的解决办法，不需要使用任何危险化学品。最后，MATTSON Marangoni是一种可靠的机器，能够以经济有效和安全的方式实现精密蚀刻和图样。它可以用于广泛的应用，其高精度和无毒技术正在帮助使创新设备制造更容易和更高效。