二手 STEAG / MICROTECH ElectroDep 2000 #9256741 待售

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ID: 9256741
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Plating tool, 8" Process: Pb / Sn Hardware configuration: SMIF System: Manual cassette load Handler system: GENMARK Robot with pre-aligner (3) Reservoirs Chillers GENMARK Robot CIM: SiVIEW 2000 vintage.
STEAG/MICROTECH ElectroDep 2000是一种可靠和先进的光刻蚀刻设备。该系统专为细线电路的形成和敲击而设计,能够产生3 μ米以上的电路特性。适用于广泛的基材,如硅、玻璃、陶瓷等。该单元将湿蚀刻工艺和真空沉积结合在一个平台上。STEAG ElectroDep 2000包括最先进的数字成像技术,可实现高分辨率成像和拍拍。该机配备了世界上最好的图像处理算法,具有先进的图像识别能力。强大的软件允许精确处理高精度和低缺陷的复杂模式。该工具包括一个精密的抗蚀剂旋转器、一个热交联器、一个真空沉积室和一个装卸站。抗蚀剂旋转器快速旋转基板,均匀应用光敏材料.热交联剂将图样化的基板暴露在紫外线下,使抗蚀剂变硬。真空沉积室将图样化的底物暴露于金属离子,然后进入真空过程,形成所需的导电膜。装卸站为样品的高效和安全移动提供了条件。MICROTECH ElectroDep 2000产生直径小于3 μ m的极薄电路轨迹,以满足半导体器件设计的要求。该资产以自动化的方式提供了最高质量的结果,无需人工干预。先进的数字成像和处理功能使该模型成为原型设计和生产要求的理想选择。总之,ElectroDep 2000是生产高精度细线电路的强大设备。其先进的成像和处理算法,加上多功能性和鲁棒性,使其成为广泛蚀刻应用的绝佳选择。
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