二手 STEAG / MICROTECH ElectroDep 2000 #9298678 待售
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STEAG/MICROTECH ElectroDep 2000是为精密电成形技术而设计的高性能光刻设备。利用紫外线光源,该系统可以作为模板单元的一部分对金属表面进行精确和精细的蚀刻。STEAG ElectroDep 2000设计的用户友好性和灵活性足以处理各种产品。MICROTECH ElectroDep 2000由光刻机的标准元件组成:光源、掩蔽成像投影光学器件和电源。UV光源通过各种光学和镜子产生与模板精确对齐的高精度光图样。然后使用这些光图桉来精确蚀刻基板,以创建所需的形状。电源用于调节电流输出,以达到正确的蚀刻深度。此外,还使用电动级舞台将基板移动到适当的位置,并与所需的图桉掩码保持对齐。这样可以进行精确的阵列放置,而无需手动调整或阶段拉伸。进一步允许精确的阵列创建,一个精确的自动对焦工具不断测量基板相对于图桉的位置,并相应地调整图桉掩码。ElectroDep 2000提供了许多可选功能,使其成为精密电成型的理想选择。紫外线光源可以升级为包括强度控制和可变脉冲长度。此外,还可以对自动聚焦资产进行编程,以便在不同的模式掩码之间快速切换,从而提高制造效率。此外,各种成像镜头可用于成像投影光学器件,以涵盖所有可能的图样应用。STEAG/MICROTECH ElectroDep 2000为精确的电成形技术提供了一个高性能、可靠的平台。它具有高精度的图样制作和精确的机动化阶段,是超精度图样和蚀刻应用的理想模型。
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