二手 SURFTECH / DAEDALUS Star4 #293608633 待售
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ID: 293608633
Ion coating system
Coating technology:
Special coating recipe: AlTiCrN, TiSiN, TiN, CrN
Process chamber:
Type: Stainless steel double walled chamber with shutter
Chamber size: 900 x 850 mm
Usable plasma zone: 600 x 550 mm
Arc source:
Deposition source: (4) Circle cathode targets, 6"
Power supply: (4) Digital DC power supplies
Auto trigger detection system
Pump:
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Turbo molecular pump, 1500 L/s
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Primary pump, 65 m³/h
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Booster pump, 250 m³/h
Vacuum measure:
SUCO Piezo gauge
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Pirani gauges
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Penning gauge
MKS Baratron Gauge
Gas control:
MKS Mass Flow Controller (MFC), Ar and N2
(2) Heaters, 18 kW:
Measure: (2) Thermocouples
PID Temperature controller
Substrate and carousel:
Carousel: 580 x 600 mm
Loading capacity: 500 kg
BIAS Power supply: Integrated ARC suppression, 15 kW, DC 1000 V, 25 A
Touch panel PC, 17"
Power supply: 380/400 V, 50/60 Hz, 45 kW, 3-Phase.
SURFTECH/DAEDALUS Star4是一种主要为精密商用半导体光刻设计的高性能光刻设备。光敏材料是用于制造半导体器件和电路的光敏材料。SURFTECH Star4提供卓越的均匀性和过程稳定性,其最佳分辨率可降至0.1 um。DAEDALUS Star4具有获得专利的Quad Light Source™,它发出极均匀、宽广的UV光谱,以实现卓越的工艺一致性。它与先进的光学器件相结合,具有优异的光均匀性和更高的吞吐量.Star4还提供了一个高精度晶片级，用于精确、可重复的对准和聚焦。SURFTECH/DAEDALUS Star4包括广泛的过程控制和收集功能。该系统提供了一个选择机器人或手动加载和强大的控制器管理配方和可重复的过程。内置软件系统提供分析和数据保留功能,使操作员能够通过实时分析查看和调整配方。此外,可选配用于精确聚焦控制的电动光学器件进一步加快了工艺开发,提高了精度.SURFTECH Star4还配备了流程控制,可提供高吞吐量和透明的设备设置点访问权限。内置缺陷检测系统在优化前检测出超出规格的产品,从而提高产量。该设备可以轻松集成到工厂现有的产品线中,从而实现快速集成。DAEDALUS Star4易于操作、维护和升级,有多种适合任何应用程序的选项。该机还通过屏幕上和屏幕外的方法提供诊断信息，以及适合各种用户的大型深度资源库。该工具设计为超过SEMI 2000光刻标准。总体而言,Star4是一种功能强大的光阻资产,可提供强大的性能、过程控制和可重复的一致性。出色的分辨率、可靠的缺陷检测和延长使用寿命的特性保证了模型适合任何半导体生产需要。
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