二手 SVG 16233 #9397148 待售

SVG 16233是由Specialty Verification Group（SVG）製造及销售的光刻胶设备。它是设计用于半导体和微电子应用的双组分水基光刻胶系统。该单元提供了一种在晶片上形成薄而均匀的聚合物屏障的方法。16233由两个组成部分组成：一个敏化剂和一个抗蚀剂。该增敏剂是一种有机化合物的溶液，被设计成被吸附在一种底物的表面，如硅片。在使用敏化剂后，基板会暴露在光源下，通常是紫外线。光导致发生化学反应，敏化剂转化为不溶于标准溶剂的聚合物结构。这种聚合物结构被称为抗蚀剂。SVG 16233光刻机形成的抗蚀剂是晶圆上方薄而均匀的屏障。薄薄的抗蚀剂层可以用来保护晶片的掺杂层免受化学蚀刻。抗蚀剂还可以在制造过程中用作掩模，同时提供对阵列电路更好的地形控制。抗蚀剂形成的屏障也能防止使用层较厚的光刻胶系统时发生的二次氧化。16233被设计为易于在光刻应用中使用。这两个元件与标准的微掩码技术兼容，该工具可以通过自动旋转涂层来应用。此外，资产提供了良好的抗蚀剂和基板之间的附着力，这使得可靠的提升面罩和电路。该模型在高温下也是稳定的，对后续的加工步骤具有化学抗性。SVG 16233是一种直截了当的光刻设备，适用于各种半导体和纳米加工工艺。该系统由两个组件组成，易于应用，并提供一致的碳基抗蚀剂。薄薄的抗蚀层在制造过程中能提供良好的附着力和地形控制，同时也能保护晶片免受氧化和蚀刻。