二手 SVG 800 #293639165 待售

SVG 800
製造商
SVG
模型
800
ID: 293639165
晶圆大小: 6"
Coater / Developer system, 6" 1995-1996 vintage.
SVG 800是一种光阻系统,旨在帮助产生非常精确的电路。800提供正负光抗蚀剂技术,实现电路设计的纳米级精度。它是为创造一贯准确的零件,并在亚微米级提供准确性和可重复性而构建的。SVG 800由一个特殊的光源、一个旋转的UV光盘和一个精密的遮罩对准级组成。光源能够在标准角度和斜角之间切换,从而实现更精确的光束放置和更高的分辨率。光盘具有透射曝光区域和反射场发生器,负责在曝光区域内均匀划分曝光能量。曝光区域进一步分为几个子区域,从而提高了曝光的准确性和可重复性,特别是在亚微米级。遮罩对准级负责将基板和基板相对于光源精确定位。对齐阶段的功能类似于水平平台,允许基板和基板面膜被精确移动和旋转。基板和基板掩模是手动移动的,这使得不对准的风险最小化,同时仍然允许高度的精确度。整个系统由一台电脑供电,负责控制和数据处理。计算机负责控制光源、光盘转速和曝光区域位置。它还负责控制遮罩对准阶段,其中包括x、y、z运动阶段和旋转机构。计算机还记录曝光参数并处理曝光数据,以确保电路的每一层都正确准确地曝光。800是一个强大可靠的光刻系统,可以帮助工程师和设计师创建高精度、可重复和纳米级的电路。它易于使用,其精确度和可重复性使得它成为那些需要高度精确度和可重复性的人的绝佳选择。
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