二手 SVG 8028 #9396689 待售

SVG 8028是一种光刻设备，设计用于纳米级结构的自动光刻处理。它是一种可靠的脉冲尺寸敏感系统，使用聚肉桂酸乙烯酯（PVC）作为钝化材料。该单元具有广泛的选项和极其精确的参数控制。8028由两个主要组件组成：光源模块（LSM）和带有UV固化室的扫描电子显微镜（SEM）。机器可以通过图形用户界面设置和操作，同一软件控制LSM、SEM和UV固化室。扫描电子显微镜（SEM）用于对具有高分辨率和低压电子束的结构进行成像。该工具能够将分辨率降至亚纳米级。随着电子束沿着结构运动，抗蚀剂沉积在表面，然后在紫外线固化室中固化。固化抗蚀剂提供绝缘层。SEM的放大倍数可达500倍,可分析复杂的3D结构。SEM用于评估平面和地形的详细特征。光源模块（LSM）是用于照明的外部光源。它提供了一个参数可变的单色光束，包括功率、偏振、角度入射和波长。LSM提供多种选项,例如多入射角、偏振光、可变光束光斑大小、激光束聚焦和暗场/明场照明。它已被证明是可靠和非常有效的自动化光刻处理。UV固化室与LSM和SEM结合使用，在加工过程中产生性能高、性能稳定的抗蚀剂。固化室有一个精确的温度控制，允许高度稳定的抵抗材料。该室还配备了声波压电资产和内置真空模型，以确保有效的治疗。SVG 8028是纳米级加工领域中用途极为广泛的设备。它提供了对各种参数和各种工艺选项的可靠和准确的控制。该系统能够产生高精度的三维结构，为复杂的纳米结构提供出色的分辨率。此外,它具有成本效益,并且需要最少的维护。