二手 SVG 8136 HPO #149607 待售

SVG 8136 HPO是一种光刻设备,专为半导体制造和其他高级应用而设计,需要最高的分辨率和最好的特性控制。这个全面的系统允许最干净、最精确的抗蚀剂形成和蚀刻。8136 HPO利用先进的化学放大光刻胶在自旋涂层中旋转到基板层上,并暴露于由所需特征大小确定的特定波长的紫外线下。这种光照触发了抗蚀剂和底物层之间的化学反应，改变了底物的电性能。底层的这种变薄允许许多先进技术所要求的微加工。SVG 8136 HPO还使用开发陷阱恢复过程来确保精确的模式。开发中的解决方桉用于解除多余的光刻胶,并仅保留设备制造所需的图样。陷印步骤使用先入先出方法来遍历阵列的边缘并确保边缘光滑。这可以使用氧气等离子体或湿显影后处理，以确保完美的清脆模式得到加强。为进一步确保精确度和清洁度,8136 HPO为设备和基板提供了业界领先的粘附控制。这种控制是通过一种快速热控制的方法实现的，这种方法允许高速加热和冷却深入基板并产生更好的附着力。此外，由于集成了用特殊材料配制的高性能抗磨剂，该装置提供了更好的耐磨性。最后,SVG 8136 HPO采用了业界领先的基于板载微控制器的感应光阻（SPR）优化软件套件。这台机器有助于控制精确的曝光水平，以确保最高分辨率的结果。该套件还提供详细的跟踪和审计功能，以更好地控制光刻过程。综上所述，8136 HPO是制造最干净、最详细的半导体结构的先进工具。其业界领先的光刻技术、开发陷阱恢复过程和专有的SPR优化软件套件提供了最大的效率和准确性。