二手 SVG 8136 #9396684 待售

製造商
SVG
模型
8136
ID: 9396684
晶圆大小: 5"
(4) Coater / (3) Developer tracker system, 5".
SVG 8136是一种高性能的光刻胶,专为双图样和浸入式光刻等先进光刻工艺而设计。8136是一种用聚合物和添加剂的专有溷合物配制的负音抗蚀剂,以提供优越的分辨率、均匀性和加工稳定性。通过创新技术的运用,SVG 8136光抗蚀剂使双图案化过程能够实现低于100 nm的特征分辨率。抗蚀剂被设计成具有很高的胶片性,并确保出色的湿工艺均匀性,使开发人员能够准确可靠地制造复杂的结构。聚合物溷合物的设计旨在提供更好的耐水性,并确保在整个光刻过程中出色的机械性能。抗蚀剂可与异丙醇、丙酮等化学物质一起使用,快速高效地发展特征。精细的抗蚀剂配方有助于最大限度地减少化学抗蚀剂损失,从而为高级应用提供可靠的成像性能。使用8136光致抗蚀剂的另一个好处是,它旨在减少污染,最大限度地减少后处理过程中产生的粒子。这种抗蚀剂具有类似夹克的有机层,可确保低颗粒,减少污染,并为要求苛刻的图桉提供可靠的图桉。一般而言,SVG 8136光抗蚀剂设计为提供具有最佳分辨率、均匀性和处理稳定性的先进光刻工艺。该抗蚀剂具有高膜性强、防水性强、颗粒生成低的特点,适用于先进的设备制造应用。通过提供出色的成像性能和可靠的后处理优势,8136光刻胶使开发人员能够以更高的精度和精确度产生更精确和复杂的结构。
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