二手 SVG 86 Series #160461 待售
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SVG 86系列是一种由Specialty Photoresists, Inc.制造的光刻胶设备。86系列光刻胶是一种高性能聚合物,旨在提供良好的胶片性能,如良好的附着力、高分辨率和优异的耐化学性。SVG 86系列利用独特的聚合物和光指示剂组合,实现了高质量的薄膜沉积和图案化。86系列是一种基于自旋溶液的光刻胶系统,为微电子应用提供了强大而清晰的分辨率。SVG 86系列由三种不同的碱基聚合物组成,这些聚合物允许改变薄膜的性能,允许根据特定的应用需要对薄膜进行剪裁。86系列还通过在抗蚀剂配方中使用的各种光指示剂以及针对特定应用需求的各种添加剂提供量身定制。SVG 86系列的确切组成因所使用的碱基聚合物和光指示剂的类型不同而不同。根据选定的光致发光剂的不同,86系列的光刻胶要求曝光时间从几秒到几分钟不等,在10秒到1分钟的范围内表现最佳。SVG 86系列兼容自动化光刻系统,以及传统的手动曝光技术。86系列光致抗蚀剂线覆盖了非常广泛的基板表面和薄膜厚度,厚度从10 nm到厚度可达几um的厚膜,具体取决于抗蚀剂配方。SVG 86系列用途极为广泛,可用于玻璃、塑料、金属和石英等表面,取决于抗蚀剂配方。总而言之,86系列是一种高性能的光致抗蚀剂装置,具有良好的分辨率、高附着力、良好的耐化学性和薄膜沉积性能。作为一种基于自旋溶液的光刻机,它与自动光刻和手动曝光系统兼容,可以通过调整聚合物/光致引发剂数量以及各种添加剂来针对特定应用量身定制。
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