二手 SVG 86 #9163180 待售
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ID: 9163180
晶圆大小: 6"
Double coater, 6"
Semi flat wafers
Cassettes: Fluor ware
Coater wafer direction: Left to right
Coater with MYKROLIS IntelliGen 2 Pump
Coater exhaust with auto-damper
Hardware:
SMC Digital vacuum sensor
Coater bottom EBR with flow meter
Does not include:
Coater with catch-cup-rinse
Thru-track interface to pe micralign riro
MICROBAR chemical cabinet
CTD
CTR
Vacuum bake wafer prime
Coater spinner with servo pack
Coater dispense line with flow meter
Coater top EBR with flow meter
Coater catch-cup-rinse with flow meter
ADS Resist reservoir system
No automation
Power supply: 415 VAC, 3 Phase
2010 vintage.
SVG 86是硅谷集团（SVG）为半导体工业开发的光阻设备。它是一种单张照片,可流动的抗蚀剂,可提供出色的打印效果,具有可靠的边缘分辨率和曝光纬度。该系统由光敏材料、图像掩模、光敏显影剂溶液和化学处理单元组成。在使用中，光致抗蚀剂材料被应用到半导体晶片的表面，并暴露在来自图像掩模的紫外线（UV）光下。光线使抗蚀剂的某些部分溶解，而其他部分则保持完整。其余部分形成将被转移到晶圆上的图桉。86旨在产生材料厚度一致、边缘分辨率均匀的高分辨率图像。它具有低光灵敏度，意味着它可以在高强度的光线下曝光，同时仍然产生干净、精确的图像。抗蚀剂还具有优异的耐化学性能，耐漂白、耐腐蚀、耐蚀刻。SVG 86用于许多不同的半导体製造过程。它用于创建微机电系统（MEMS）、微控制器和集成芯片组等一系列组件。它也被用于生产光阻、薄膜晶体管和发光二极管（LED）。此外，它还被用于制图太阳能电池和光伏电池。该机非常适合高容量、高精度的制造。常用于先进材料的製造中，如应变的硅、氙、复合半导体、纳米结构等。该工具易于使用,需要最少的操作员培训。86被设计成一种经济实惠的光刻胶溶液，适用于各种各样的半导体应用。高可靠性，缺陷率低，产量高。这使其成为大批量生产的理想选择,并增强了成品设备的可靠性和性能。
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