二手 SVG 860 #9238247 待售

SVG 860是尼康仪器有限公司的先进光刻设备，用于微机电系统（MEMS）装置制造中的图像传输和图样制作。它是为多晶硅、聚酰亚胺和负性抗蚀剂等多种材料设计的集成沉积、自旋涂层和曝光工具。860以最先进的成像技术为基础，配备了高NA（数值孔径）光学浸入系统、高精度级、空气轴承微旋倾斜器、先进照明单元。它还提供了一系列可以微调的涂层参数，以确保达到精确的薄膜性能。机器依靠两级自旋涂层工艺，沉积和暴露以不同的步骤发生。第一步是沉积，将精确量的光敏材料施加到基板表面。然后,将基板以精确的速度旋转,形成均匀的薄膜.经过纺丝过程，基材被移到第二阶段进行曝光。在曝光阶段，光学浸没工具发出的光照射到基板上并精确图案。然后根据暴露条件有选择地去除或改变生物光致抗蚀剂层。这种曝光的方法创造了各种精确形状的特征，具有出色的分辨率。SVG 860还允许对测试芯片上的光刻胶膜厚度进行在线检查和测量。这使得厂商可以在不拆卸和清洁腔室的情况下测量薄膜的厚度，加速过程并增加吞吐量。由于其精度、精密控制和易于操作，光刻资产被设计为与半导体和MEMS制造中的大体积光刻工艺兼容。该模型是为可靠性而设计的,需要最低限度的维护才能提高生产率。这种先进的光刻设备可确保在MEMS芯片上创建高精度、高分辨率和可重复性的功能。