二手 SVG 8600 series #84863 待售
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SVG 8600系列是为半导体、MEMS和Packaging行业的深紫外线和X射线后端设计的光刻设备。该平台使用户能够以极高的均匀性和分辨率覆盖大面积区域。8600系列是需要高度吞吐量、效率和可重复性的过程的理想选择。该系统提供了一个非常精确的涂层广泛的光刻胶和其他液体。它包括一个高性能的控制器,温度调节,通风和可调视觉自动对焦,具有高水平的性能和生产力。SVG 8600系列带有强大的图形用户界面(GUI),旨在减少设置时间并减少与手动控制相关的潜在错误。它具有触摸屏液晶显示器,便于访问和故障排除。该单元支持用于精确特征定位的强大对准工具和可进行精确流量控制的精细控制机器,以及变速电机和可调视觉自动对焦。8600系列设计用于处理多种光刻胶应用,包括直线顶层涂层、纳米级填充和电接触。污染控制也可用于尽量减少空气、微粒和液体污染物的影响。此外,该工具具有可编程的二维运动能力,允许复杂结构的高分辨率阵列。SVG 8600系列旨在提供一致、高质量的结果,具有集成的安全功能和坚固的设计,以抵御恶劣的化学物质和高温。使用耐腐蚀的零件和材料也很容易清洁和维护。此外,该资产还具有可选的过程自动化功能,可减少操作员疲劳并提高准确性。总体而言,8600系列是一款功能强大且用途广泛的光刻胶型号,专为半导体和MEMS行业的后端工艺而设计。它提供了高度的准确性和统一性,直观的用户界面和过程自动化,以及处理各种光刻胶应用的能力。其先进的安全特性和坚固的结构使其成为需要高吞吐量和重复性的深紫外线和X射线工艺的理想解决方桉。
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