二手 SVG 8600 Series #9294223 待售

製造商
SVG
模型
8600 Series
ID: 9294223
Coater / Developer / Scrubber track system.
SVG 8600系列是一种光刻设备,由先进的能源技术组成,这些技术已经被开发用来优化制图工艺。它提供高分辨率的光致抗蚀剂成像,可用于多种应用。8600系列系统采用先进的激光感应和薄膜成像技术,以最高的精度和透明度形成纳米级图桉。它具有交互式液晶触摸屏,用户可以快速轻松地调整设置并实时监控过程。这一单元利用高速、多轴基底旋转木马实现跨基板的快速吞吐量,范围从5毫米到150毫米宽。此外,它还具有步进电机驱动的快速聚焦调节功能,可实现精确且可重复的处理。SVG 8600系列设计用于各种光刻材料和基板。它允许用户从各种抗蚀剂厚度中进行选择,并提供快速曝光参数,可提供高达0.2 µm的一致分辨率。它的波长多功能性提供了UV到VIS光谱的图样精度,其强大的设计可容纳多达200W个钨卤素照明器。除了出色的成像和曝光,这种类型的光刻机需要坚固的安全特性。8600系列包含新底物暴露、安全激光操作和精确抗沉积和显影剂溷合物的给药系统。这种光致抗蚀剂工具还配备了激光安全保护联锁,在检测到异常照射时对安全系统进行监控和激活。SVG 8600系列是一种高效的光刻胶资产,非常适合用于高级阵列制作过程。这个模型提供了最大的准确性和透明度,交互式屏幕,快速的聚焦调整和广泛的基材,材料,和抵抗厚度。8600系列利用激光感应和薄膜成像技术,最大限度地减少了阵列错误,从而使产品更加一致可靠。
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