二手 SVG 8626 #9396687 待售

SVG 8626是由SVG Chemicals开发的光阻设备，设计用于制造先进的光掩模。该系统包括一种专有的光刻胶配方、一种新型的光掩模制造工艺和一种三层电镀技术。8626中的光致抗蚀剂配方设计用于生产非常薄的层抗蚀剂，具有极好的分辨率能力。抗蚀剂配方使光掩模具有更小的特征、更高的纵横比和改进的通过填充功能,同时还提高了精细和超精细特征的分辨率。这种抗蚀剂还允许在电镀过程中由于其高均匀性和粘度一致性而降低图像失真。SVG 8626中独特的光掩模制造工艺使用光致抗蚀剂和折射率匹配的覆盖物一起创建光掩模。该工艺采用三层电镀技术，保证了特征的精确公差，提高了图像分辨率，降低了屈服损耗。过程的第一层是光掩模，用于定义光掩模的图样。光被施加到光掩模上，它被暴露在感光材料上，如光致抗蚀剂。该过程的第二层是posites，用于提高光掩模的均匀性和改善vi-fills的尺寸。第三层是保护层，保护光掩模免受环境和热应力的影响。总体而言,8626的光掩模制造工艺可实现高分辨率的光掩模,减少图像失真,提高通过填充的性能,提高屈服损耗。此外，在加工过程中较低的热应力和环境应力有助于延长光掩模的寿命并防止腐蚀。因此，SVG 8626光敏装置是一种先进可靠的光敏机器，用于制造光掩模。