二手 SVG 8632 #9255090 待售

SVG 8632是一款光阻设备，由专门从事光阻的公司Shipley开发。它是一种掩码技术，用于在半导体表面上创建图样。它是专门为高性能的光刻工艺而设计的，需要非常薄的抗蚀材料层。它也适用于在极薄的晶片上生产很小的特征尺寸。光致抗蚀剂系统由两个关键组成部分组成：一个是光致抗蚀剂层，另一个是下面的硬烤层。光致抗蚀剂层对光敏感，用作图桉层。它由一种聚合物材料组成，如聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯亚胺或这些的溷合物，其中含有一种光活性化合物。硬烤层通常是一层薄的氧化物，如氧化硅或氧化硼，充当支撑层和扩散屏障。在8632光致抗蚀剂单元中，使用掩模来控制光致抗蚀剂层的曝光，并对表面进行图桉。要在所需位置创建图样,将蒙版暴露在光源下,并且所暴露的区域与光致抗蚀剂层中的光活性化合物相互作用。这种相互作用使得化学反应，使暴露的区域变得硬化和不溶解。硬烤层防止化学反应发生在晶圆的其他地方。SVG 8632光刻机能够在晶片上产生极小的特征尺寸。此外，它提供了一个高水平的精度和分辨率，当阵列晶圆表面。此外,由于其高度可靠且定义明确的处理窗口,它确保了高流程一致性。此外，它的拥有成本很低。总体而言，8632光刻工具是高性能光刻工艺的理想选择。它是一种可靠、准确且易于使用的掩码技术,可产生非常小的特征尺寸和出色的工艺一致性。它拥有成本低，非常适合半导体行业使用。