二手 SVG 8632 #9396691 待售

SVG 8632是一种光刻系统，用于光学光刻工艺，专门用于28nm成像和更精细。它由可想象的、直接写入专有的有机溶胶-凝胶抗蚀剂和基于溶剂的正音显影剂组成。在EUV和Deep-UV辐射的存在下，抗蚀剂的光活性成分是坚固的，使抗蚀剂能够暴露在非常短的波长辐射下，以实现精细的分辨率。抗蚀剂本身由一个非离子聚合物和一个杂环三导数组成，当涂在晶片上时可以形成高质量的图像图样。许多较常规的酸性催化抗蚀剂在电阻率上对某些污染物种类有限制，如大分子种类或二氧化物。然而，8632的溶胶-凝胶抗蚀剂对这种污染物具有很高的抗性，使抗蚀剂具有很高的耐用性，并使其具有出色的成像特性。利用SVG 8632显影剂开发抗蚀剂.它以有机胺化合物为基础，一旦被激活，它可以作用于溶胶-凝胶暴露的抗蚀剂区域，以去除暴露的部分并留下未暴露的区域。这一过程使晶片能够形成精细、准确的图样。8632是一个出色的抵抗系统，在设计时考虑了高分辨率的过程。其独特的溶胶-凝胶抗蚀剂成分可实现高灵敏度和精确成像,其特征尺寸可达28 nm及以上,比常规光刻抗蚀剂要好得多。此外，其对空气和污染物污染的鲁棒性使抗蚀剂具有很高的耐用性，适合大批量生产。