二手 SVG 88 Series #9192887 待售
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ID: 9192887
Single track coater
Configuration:
Empty space for 2nd track
Send- Coa t-HPO-Receive
System cabinet:
Footprint:
Coat system: 42" Deep X 60" Wide X 38" High (with out CP)
Coat system: 42" Deep X 72" Wide X 38" High (with CP)
System frame:
Internal frame: Standard powder coated black
External panels: Stainless steel
Wafer type: Silicon
Wafer size: 3" Wafer round with flats
Wafer flow: Left to right
Rear of system bulkhead fittings and facility connections for:
Process chemicals: Photoresist, EBR solvents
Process gasses: Clean dry air, nitrogen
Process exhaust
Teflon insulated mainframe wiring
Process chemical dispense lines:
PFA or FEP - Photoresist
SVG Style card cage keypad and display with SVG software control:
Z80 Microprocessor control
(9) Events per program
Times variable from 0. to 99.0 sec. in 0.1 sec
Machine diagnostics: Machine and sensor status
System capable of processing wafers:
Automatic
Single or manual modes
Independent microprocessor control for each track
Automated transfer arm system for module to module wafer transfer
Emergency stop access front of system
Power junction box: 208V, 60Hz, 25A.
SVG 88系列是一种光致抗蚀剂设备,用于保护基板的预定区域不受反应性材料的影响。它由光源、感光涂层和遮罩板组成。光源通常是激光或闪光灯，而感光涂层是光敏聚合物。当暴露在光源下，感光聚合物反应而变得不透明，形成一层不透明的光致抗蚀剂。该层用作掩模,保护基板的区域不受反应性材料的影响。通常,遮罩板放置在基板和光源之间。需要保护的区域的图样被蚀刻到遮罩板上，允许光只在遮罩板有图样的地方通过到下面的感光涂层。这使得感光涂层仅在遮罩板具有图样的地方才能暴露于光线，导致与这些区域相关联的感光涂层的部分变得不透明并形成一个光敏层。88系列系统的设计提供了一个一致的、细腻的、精确图案化的光刻胶层。这层光致抗蚀剂被用来有选择地保护底物在暴露于反应性材料时免受损伤，例如蚀刻剂或其他类型的反应性溶液。这使技术人员可以使用此单元来保护基板的指定区域,从而为制造过程提供详细的控制和准确性。SVG 88系列机器可与各类基材搭配使用，如金属、玻璃、塑料或陶瓷。它还被证明在制造集成电路、纳米技术装置以及其他尖端材料和工艺方面很有用。根据使用的材料类型，光源具有调节曝光功率水平、能量水平和持续时间的能力，允许在光刻胶层内进行详细的控制和精度。88系列是创建光刻胶层的精确工具，使其成为制造各种材料和组件的宝贵工具。通过提供一个一致的、精确的图桉化光致抗蚀剂层，它能够保护基板的预定区域不受破坏性反应性材料的影响，从而在制造过程中提供更高的精度和控制。
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