二手 SVG 88 #293749146 待售

SVG 88是用于电子工业生产集成电路（IC）芯片的先进光刻设备。它是利用紫外线光源将电路模式传递到化学涂层晶圆上的光刻系统。该单元的设计目的是在IC开发过程中最大限度地提高芯片产量和精度。光致抗蚀剂是一种辐射敏感材料，用于在基板表面上形成图样。在薄膜沉积之前，光致抗蚀剂被小心地纺到基板表面，通常是硅片。这种涂层极薄，需要精确放置，最终设备才能发挥作用。为确保对准，88利用先进的光学成像机跟踪和引导光源。一旦光致抗蚀剂层旋转到晶片上，则在沉积过程前使用反向色调抗蚀剂将晶片曝光。抗蚀剂暴露在极短波长的紫外线下，使暴露区域内的抗蚀剂变硬。这种硬化可以防止沉积材料渗透。要形成图桉,选定区域将被暴露,而其余区域将被铬掩模覆盖。然后可以对光刻胶进行干燥和显影，以显示电路模式。之后，剩余的抗蚀剂被移除，允许模式被转移到晶圆。此过程允许创建非常复杂的模式,从而产生一个可以快速高效生成的高度精确的设计。最后，电路光刻被金属化，形成最终的图样金属层。该层是构建IC的所有其他层的基础，提供晶体管、电阻器和其他组件之间的电气连接。SVG 88光刻工具是为各种应用创建复杂、设计精确的IC芯片的可靠而高效的方法。此外，光刻胶层完全可回收利用，减少了生产过程中产生的总废物量。