二手 SVG 88 #293768872 待售

SVG 88是一种光致抗蚀剂设备，使用光致抗蚀剂涂层的金属基板作为基板，以达到高分辨率图样和/或小金属线。88系统由丙烯酸和聚酰亚胺两种光刻剂组成。光致抗蚀剂是一种塑料材料，当暴露于特定类型的光时，其性质会发生变化。对于SVG 88单元，两种光致抗蚀剂放在一起，并暴露在紫外线下，从而引起增加两种光致抗蚀剂之间粘附力的反应。这种反应在两种光致抗蚀剂之间形成牢固的键合，进而使底物被加工成高分辨率图样和/或小金属线。为了制造图样或线条，金属基板被放置在真空室中，并暴露于可光降解气体中；这种气体在金属基板表面引起均匀反应，增加了光致抗蚀剂之间的附着力。然后，使用聚焦的紫外线照射工艺对基板进行定位和调节，导致光降解气体仅在基板的裸露区域降解，使其他区域不受影响；这是由于曝光变化而创建模式或线条的地方。之后，在基板上涂上抗掩码和/或抗反射涂层。这样做是为了保护基板不受真空室内空气的影响，并防止基板暴露于环境光中。最后对基材进行清洗，准备使用。88光刻机使制造高分辨率的加工金属图样或线条成为可能,从而能够制造否则很难或不可能生产的元件或零件。