二手 SVG 88 #293770159 待售
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SVG 88是由SVG(硅谷集团)开发的光刻胶系统。光致抗蚀剂是通常用于生产半导体和相关电子器件的光敏材料。它们对于形成晶体管、二极管、电阻器和其他组件至关重要。88是一种热处理系统,旨在使晶片上的高精度光刻图样能够打印和构造。其特点的结合有利于制造复杂复杂的结构,如微观线条和透晶圆接触。SVG 88包括三个主要组件:光源、热控制器和晶片支架。光源由一组微型灯组成,每盏灯的输出功率为40毫瓦。这些灯以均匀的空间分布发射能量,从而能够非常精确地蚀刻光刻图样。此外,它们极短的曝光时间提供了快速的模式与最小的热曝光.热控制器和晶片支架有助于在蚀刻过程中将晶片保持在均匀的温度。这是通过使用嵌入式温度感应头来实现的,该感应头可以以很高的精度测量极小的温度变化。磁头连接到温度控制器,能够对晶圆的加热进行快速而精确的调整。最后,晶圆架结合了多个自由度,使其能够在三维空间中操纵温度敏感的晶圆。这在将晶片相对于光源定位时提供了很高的精度。它还减少了潜在的扭曲源,确保了精确和统一的抵抗模式。88的特点使其成为生产具有光致抗蚀剂的复杂结构的主要材料。它为高度精确的蚀刻提供了一个可靠可靠的解决方桉,并最大程度地减少了热载荷。此外,它的用户友好界面允许快速高效的操作,使其成为经验丰富的微加工工程师和学生都喜欢的系统。
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