二手 SVG 88 #293829338 待售

SVG 88是一种高精度光刻设备，设计用于研发过程的精确和可重现的纳米加工。光致抗蚀剂是应用于基板的感光材料薄层，以便在制造过程中掩盖某些区域。88是一个涡旋自旋几何系统，使用连续旋转的方法在基板和自旋头之间均匀旋转光抗蚀剂。均匀的纺丝可确保光刻胶在基板上形成均匀的一层。SVG 88利用喷头，使得它适合较大的基材如4x4 cm的基材，最多8英寸晶圆。喷头由具有可调RPM、压力和台阶的可调喷嘴组成。这允许用户根据其要求定制光刻胶层厚度,而不会影响精度。将光致抗蚀剂浸入石英罐中，然后涂在基板上，在基板上软烘烤几分钟。然后,光刻胶将暴露于高功率光源的光照下,并将其调整到所需的设置。这使得光抗蚀剂相对于底物具有高度精确的曝光性，这是其他光致抗蚀剂系统无法实现的。然后在热板上烘烤光刻胶，固定图像，提高光刻胶的结构鲁棒性。88还具有用于温度和真空控制的数字控制单元,允许对光刻胶进行精确和一致的干蚀刻。这台光刻机的设计目的是以最小的浪费提供最大的精确度，帮助降低总体成本和提高生产率。它是薄膜沉积和光刻等纳米加工工艺的理想选择，需要高度的精度和可重复性。