二手 SVG 88 #9105742 待售
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ID: 9105742
Dual track coaters
Each cabinet contains (2) coater tracks
Configuration: S/S/C/HP/HP/HP/CP/R/R
Include millipore pumps.
SVG 88是一种阳性光刻胶设备,专门为各种基板上的优异性能而配制。正光致抗蚀剂工艺允许操作员在多种表面上实现高质量的印刷,从低温陶瓷到可溶性聚合物薄膜。88是一种易用、用途广泛的光刻系统,用于半导体工业生产优质芯片产品。SVG 88是由光活性化合物(PAC)和溶解剂组成的正光抗蚀剂单元。PAC是一种被紫外线激活的光反应材料。它通常由丙烯酸聚合物、酸和光引发剂组成。光引发剂引发光诱导的自由基反应,引发PAC与酸的反应。然后酸将聚合物分解成反应性物质,可由溶解剂除去。溶解剂用于将区域化的PAC溶解到远离未暴露于紫外线的区域。这些区域在芯片上保持完整,从而形成最终图像。88中使用的增溶剂通常含有一种硫代增强溶液,有助于将PAC悬浮在增溶剂内,以便更有效地溶解。使用SVG 88最重要的好处是产生了具有卓越均匀性和分辨率的低分辨率特性。这使得它成为芯片设计和制造的理想选择。它在芯片修复和返工方面也非常有效。88还具有很高的可压缩性和弹性,使得它易于使用和非常可靠。此外,SVG 88还提供出色的分辨率和吞吐量。它可以用在从塑料膜到金属如铝和铜等多种基材上。该机还产生非常低的边缘缺陷和低电阻率。它还具有耐热性,可加热至225°C。总的来说,88是一个积极的光刻工具,设计用于在各种基板的优越性能。它具有出色的分辨率和吞吐量,并具有低边缘缺陷和低电阻率。它具有耐热性,非常适合芯片生产和维修。它还具有高度的可压缩性和弹性,易于使用和高度可靠。
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