二手 SVG 88 #9302571 待售
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SVG 88是一种高精度光阻系统,设计用于在集成电路(IC)晶片上成像微观和纳米级元件。光致抗蚀剂系统的工作原理是将晶片从直接源或投射到晶片上的图像中曝光。当光致抗蚀剂暴露在光下时,它改变了它的性质,可以用来蚀刻或添加材料到晶片中。88设计为可同时使用正向和负向光抗蚀剂,从而在制造复杂的IC时提供最大的灵活性。SVG 88最大的好处是具有高分辨率成像能力。它可以对50 nm小的特征进行成像,并以亚微米精度准确定位。这对于现代DRAM等高密度组件至关重要。它还采用了最新的亚波长成像技术,使其能够精确地成像极小的结构,而无需电子束。88是一个易于设置和使用的全自动系统。一台板载计算机运行系统,可以编程为执行各种进程。它还具有内置的安全功能,如温度控制和辐射监测,以确保正确的过程安全进行。SVG 88还具有精确对准和先进的材料传感器。这样可以确保正确放置所有元件,并准确地应用光致抗蚀剂。材料传感器还向机载计算机提供反馈,以确定光刻胶是否已正确应用。这有助于确保最终产品没有缺陷。总体而言,88是制造复杂的IC(如微处理器和DRAM)的理想选择。它的精确度和准确性加上自动化和安全性,使其成为半导体工业中的理想之选。它具有高分辨率的成像功能,能够准确、快速地成像更小、更先进的组件,这对现代IC制造领域非常宝贵。
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