二手 SVG 8800 #1220 待售

SVG 8800光刻设备是一种用于极紫外线（EUV）光刻的光刻工具。该系统精确、高效、经济高效,能够以较低的成本实现更高的吞吐量。它能够利用EUV光在平版印刷过程中创建高级图桉特征。该单元包括Scan and Stepper模块,它能够以精确的精度在晶片上创建高分辨率特征,同时减少时间和成本。它通过超高速扫描和步进机制实现了这一目标,该机制可以处理各种光功率级别。该机最具创新性的特点之一是其先进的多层薄膜沉积模块，使得在晶圆表面上创建微观尺度特征成为可能。它的多层沉积工具为更精确的图样制作了精确的材料层厚度。该资产还能够进行超薄膜沉积,从而可以创建特征尺寸较小的图样。8800除了型号的扫描和步进方面，还包括基板制备阶段和洁净室环境。基板制备阶段用于清洁和化学加工抗蚀剂和涂层的基板，而洁净室环境为光刻曝光提供了受控环境。这是平版印刷过程中的一个重要步骤，因为它有助于确保最高质量的EUV图样制作结果。SVG 8800光刻设备还包括高精度对准服务。这使用户能够在系统的舞台上快速准确地定位晶片和基板。该单元还包括先进的检测系统，用于测量和验证机器产生的模式的准确性。总的来说，8800光刻工具是一个强大和高效的平版印刷工具EUV过程。它提供精确、经济高效的光刻技术,具有广泛的应用,并提供高通量的高质量结果。资产的底物制备和洁净室环境确保高质量的图样，其对齐和检查服务有助于保持所创建图样的准确性和完整性。