二手 SVG 8800 #293619532 待售

SVG 8800
製造商
SVG
模型
8800
ID: 293619532
晶圆大小: 6"
Coater systems, 6".
SVG 8800光刻设备是为提供高精度光刻而建造的最先进的系统。这个单元由一台强大的激光机器和一个直接驱动x/y定位台组成,以确保最大精度和响应能力。该工具能够自动写入精确、均匀的图样,大小可达20 nm,可重复性为0.1 um。激光可以调谐到355nm至532nm之间的任何波长,从而在开发各种光阻基板时具有很大的灵活性。资产的机动化阶段、微定位器和高精度光学器件提供了一个极其稳定和精确的平台,使得可重复、一致的测量成为可能。该模型能够以一致的密度自动暴露模式,以及创建具有准确和可重复结果的任意复杂模式。这使得光致抗蚀剂的模式一致,即使改变到不同的基材。该设备还配备了真空卡盘,以帮助保持基板和最小化热位移。该系统还具有一系列高分辨率数字视频功能,包括视频监控和测量功能。这些功能可帮助用户在曝光过程中监控其模式的状况和位置,并确保其准确性和均匀性。此外,8800还配备了强大的图像分析包,允许用户详细分析其结果以确保准确性。该单元还具有多种人性化功能,使设置和使用机器更加容易。例如,它具有可编程的设定点,允许用户轻松定制其特定的使用方桉,并方便地访问后处理功能,如平版印刷清理、电阻处理和干性抗蚀剂制造。该工具还带有一个集成的用户界面,便于创建、保存和编辑存储的模式。SVG 8800光刻资产是光刻用户强大可靠的工具。其精确度和准确性的结合,以及用户友好的特点,使其成为任何实验室的宝贵资产。
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