二手 SVG 8800 #9094408 待售

SVG 8800是一种光刻设备，用于集成电路（IC）的光刻和蚀刻。是加工聚合物、有机、金属、复合材料等材料的通用工具。8800作为一种高端光刻系统，用于高精度的先进工艺要求和关键器件制造。SVG 8800由浸入式扫描仪、光束源、数字模式发生器和图像捕捉或增强光学配置组成。浸入式扫描仪提供了一系列扫描字段,以支持IC分辨率降至50 nm。它利用1.35的高数值孔径（NA）和专门设计的遮罩板来提供更高的工艺纬度。光束源由一个脉冲准分子激光器、一个光束成形单元和一个以532nm波长发射Nd:YVO4倍频激光器组成。它提供了波长、焦点和脉冲能量的选择，以精确地曝光具有高景深控制的光掩模。数字模式发生器是将电路设计应用数据精确转换为光束源所需的精确打印参数的自动化机器。这使得基材的暴露能够针对各种材料和工艺进行优化。图像捕获和增强的光学配置在打印前后从基板捕获高分辨率图像。它还执行对层（CTL）测量、针迹测量和通道特性至关重要的模式。总而言之,8800是一种先进的光刻工具,可提供出色的处理和成像性能。它具有更高的数值孔径、脉冲能量控制、自动模式发生器和高分辨率图像捕获等一系列特征。这些组合使其能够为IC制造提供高达50 nm分辨率的精密处理。