二手 SVG 8800 #9307770 待售

SVG 8800是用于集成电路制造的光刻胶系统。其设计目的是在半导体器件和其他电气、机械和光电子元件相配时提供高分辨率和准确性。8800具有处理湿法和干法蚀刻工艺的能力，能够加工直径达8英寸的基材。该系统配备了成像激光源、成像光学、扫描仪、光束剖面仪、激光运动控制器以及各种光刻涂层和处理室。成像激光源提供了必要的光源，用于在基板上制图光刻胶。从光源发出的光调整到所需的波长和强度水平，以便有效地将光刻胶暴露于激光。成像光学器件将激光源发出的光聚焦到光致抗蚀剂表面上。这样可以确保产生精确的光刻层图样。然后，扫描仪使用聚焦光在基板上绘制光刻胶图样。光束剖面仪用于测量激光束的光束轮廓。这样可以对光强度进行精细调整，并使用户能够实现光刻胶层的最佳图桉。采用激光运动控制器，确保所产生的光模式具有最小的失真，同时保持正确的剂量分布。通过调整激光沿x、y和z轴的位置，可以调整激光光束的对准和聚焦，从而获得最佳的光致抗蚀层照明。光敏涂层和加工室使使用者能够相应地涂层和发展光敏涂层。这些腔室设有旋转器、压力容器、分配头和温度控制系统。所有这些系统一致工作，以确保光刻胶涂层和开发有一个最佳的定义和层厚度。SVG 8800是一种高度可靠和高效的先进光刻系统。它考虑了光刻胶制造中的所有不同方面，使设计人员能够以极好的精度和可靠性对设备进行阵列设计。